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コーター / デベロッパー
ASMO 阿斯摩技術有限公司は、世界の半導体・光電産業の発展とともに成長し、国内の有名大学、研究所、中科院、半導体関連産業など多くのお客様から信頼を 得ています。
ASMOは、カスタマイズ可能な卓上型およびフロア型のコーター(塗布機)・デベロッパー(現像機)を提供しています。500×500mm以上の大型基板に対応した回転現像・エッチング・洗浄装置、スプレーコーター(Spray Coater)、スリットスピンコーター(Slit–Spin Coater)なども取り揃えています。

製品詳細

基本仕様
外形寸法
基板寸法
操作方式
回転速度
モーター
電気制御システム
プロセス数
オプション
800mm(W)x620mm(D)x480mm(H)
2-12in Wafer 、ダイ
手動ロード/手動供給
10-5,0000pm(±3rpm)
三菱AC Servo Motor
三菱PLC
10組
自動供給ハンド、ウェーハ洗浄/裏面洗浄


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