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コーター / デベロッパー

ASMO 阿斯摩技術有限公司は、世界の半導体・光電産業の発展とともに成長し、国内の有名大学、研究所、中科院、半導体関連産業など多くのお客様から信頼を得ています。

ASMOは、カスタマイズ可能な卓上型およびフロア型のコーター(塗布機)・デベロッパー(現像機)を提供しています。500×500mm以上の大型基板に対応した回転現像・エッチング・洗浄装置、スプレーコーター(Spray Coater)、スリットスピンコーター(Slit–Spin Coater)なども取り揃えています。

塗佈顯影機1

製品詳細

表格
基本仕様

外形寸法

基板寸法

操作方式

回転速度

モーター

電気制御システム

プロセス数

オプション

800mm(W)x620mm(D)x480mm(H)

2-12in Wafer 、ダイ

手動ロード/手動供給

10-5,0000pm(±3rpm)

三菱AC Servo Motor

三菱PLC

10組

自動供給ハンド、ウェーハ洗浄/裏面洗浄

塗佈顯影機2
塗佈顯影機3

お問い合わせ

台湾桃園市中壢区元化路224号12階

+886 3-422-1080

ご提出ありがとうございます!

中国江蘇省 蘇州市

虎丘区 鹿山路369号 国家環保産業園29棟404室

連絡先:蕭(ショウ)氏 

電話:+86 15262973709

中国蘇州支店

江蘇 芯途集積回路株式会社

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