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塗佈機/顯影機
ASMO 阿斯摩科技 伴隨全球半導體光電產業的發展，已擁有知客戶國內知名大學、研究所、中科院、中科院、半導體相關產業。
ASMO 提供客製化桌上型、落地形塗佈機、顯影機，包含大型機板( > 500 X 500mm ) 旋轉顯影 / 蝕刻 / 清洗設備 、噴霧塗佈 (Spray Coater)及夾縫 - 旋轉塗佈 (Slit – Spin Coater)等
商品詳細介紹
基本規格
外觀尺寸
基板尺寸
操作方式
轉速
馬達
電控系統
製程參數
選配
800mm(W)x620mm(D)x480mm(H)
2-12in Wafer 、破片
手動放片/手動供料
10-5,0000pm(±3rpm)
三菱AC Servo Motor
三菱PLC
10組
自動供料手臂、晶片洗邊/洗背
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